外差干涉仪相关论文
描述了基于外差干涉仪原理的用于精密空间光学的准直方法,分析了该方法进行光学系统准直的系统误差;结果表明,只要较好地控制倾斜......
提出并论证了混合型声光调制器衍射光的衍射级次混叠特性， 它使衍射光强中存在着驱动频率的谐波项， 此外入射光束的漂移将引起衍射光......
提出了一种采用双纵模稳频激光器的新型绝对距离测量外差干涉仪。该干涉仪探测两个波长各自的外差信号， 通过测量两信号的相位差， 直......
外差激光干涉仪能够通过光波细分达到亚纳米分辨率,因而在科学研究和精密机械制造中得到了广泛应用。然而,由于光学系统中不可避免......
通过对外差干涉信号同时进行相位检测和锁相倍频计数，可得到存在一定冗余度的一组测量结果，经过一定的逻辑混合；可实观测量分辨率优于......
随着科技的发展,人们对加工和测量的精度要求越来越高,亚微米到纳米精度的测量已经成为目前工业发展和科学发展中迫切需要解决的问......
激光外差干涉的振动测量具有很高的精度，在纳米级振动测量中有着独特的优势。通过研究发现，由于激光光源的偏振态不理想或不稳定以及......
分析了共光路外差干涉仪光路中几个组成元件的调整方法,包括入射光位置的调整、渥拉斯顿棱镜位置的调整、被测表面位置的调整等.......
介绍了利用现场可编程门阵列(FPGA)来实现外差干涉仪动态数据采集的信号处理方案。在这套方案中,在锁存位置计数信息的同时,还可以......
针对工业领域和计量界对定位精度要求的提高,提出了一种基于迈克尔逊干涉仪反向特性的定位控制方法。该方法采用相位锁定控制和外......
制造业的发展迫切需要对高速加工过程中的物体进行测量和定位，利用声光调制法实现外差干涉能产生较高的频差可以实现高速测量。文中......
描述了基于法拉第旋光效应的激光外差干涉测量方法及其系统，通过分析测量平面镜顺时针和逆时针转动时光路结构的几何关系确定了该系......
外差信号处理系统是外差干涉测量系统精度测量的重要组成部分。为了实现外差干涉的相位移测量，采用一种整数计数和小数计数相结合的......
为了减小外差干涉仪的非线性误差，必须明确波片和偏振片对非线性误差的影响机理。通过理论分析和试验发现，波片和偏振片位于偏振分光......
外差干涉仪的非线性误差不仅由激光源的椭圆偏振态或者非正交线偏振态引起，也由非理想的光学器件引起，其中分光镜是一个重要的误差源......
开展了扫描干涉光刻机工作台超精密位移测量的实验研究,以提高扫描干涉光刻机的环境鲁棒性。针对扫描干涉光刻机工作台位移测量精......
针对力传感器动态校准及溯源的问题,介绍了两种常规的力传感器动态校准的方法,分别建立了不同校准条件下力传感器的运动方程,说明......
偏振光器件，如波片和偏振片等，当自身有误差或具有安装误差时．会对外差干涉仪的非线性误差产生影响。通过理论分析和试验发现了一个与......
透射式激光外差干涉系统能精确测量待测物的内部折射率分布和厚度信息。设计了应用于干涉系统中的混合光学扫描结构,它由微机电系......
音调是听觉系统感知声音刺激最重要的知觉特征。音调的变化所形成的旋律,是构成音乐世界的基础。然而迄今为止,音调的物理本质仍然......
外差激光干涉仪是20世纪70年代初发展起来的测量仪器,它能以简单的相位比较测量达到很高的准确度,而且结构简单、抗干扰能力强、同......
本文详细地讨论了外差干涉仪的两个主要问题,即干涉仪的横向定位问题和非线性误差分析及其误差补偿问题.首先,提出了一种新颖的解......
针对传统差分平面镜干涉仪结构复杂、需要光学部件多从而导致系统调试困难、测量信噪比低等缺点,提出了一种结构简单需要光学部件......
光外差激光干涉测量技术具有非接触、超高灵敏度的优点,用于微小振动的测量有独特的优势。采用外差激光干涉技术,结合正交正弦逼近......
为了测得外差干涉仪的相位移，采用插频法对外差干涉仪的参考信号与测量信号进行了处理，从而测得两个信号的相位差即多普勒频移。插频......
随着现代制造技术精度的不断提高,发展纳米测量技术,建立纳米计量测试标准成为计量与测试技术中十分重要的课题.纳米测量技术是随......
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